진공로의 압력 범위

진공로의 분압 범위는 진공 처리 후 전체 압력 내 다양한 ​​잔류 가스의 분압 수준을 나타냅니다. 진공 환경은 완전히 가스-가 없지만 질소, 산소, 수소, 수증기와 같은 다양한 가스로 구성되므로 부분압 범위는 공정 중 산화 정도와 재료 반응에 직접적인 영향을 미칩니다.

기존 산업용 진공 열처리 공정에서 총 진공 수준은 일반적으로 10⁻1 Pa ~ 10⁻³ Pa에 이릅니다. 이 수준에서는 다양한 잔류 가스의 분압이 그에 따라 낮아지며, 수증기와 산소의 분압은 일반적으로 산화, 탈탄 및 오염의 위험을 줄이기 위해 더 낮은 수준으로 제어됩니다. 이 단계는 대부분의 금속 어닐링, 브레이징, 담금질 공정에 적합합니다.

까다로운 공정이나 고진공 조건(예: 10⁻³ Pa ~ 10⁻⁵ Pa)에서는 잔류 가스의 분압, 특히 극도로 낮은 수준으로 제어되는 산소 및 수증기의 분압을 더욱 줄여 표면 반응과 불순물의 영향을 크게 줄입니다. 필요한 경우 특수 재료 가공 또는 정밀 열처리의 공정 요구 사항을 충족하기 위해 불활성 가스(예: 아르곤)를 채워 부분 압력을 조정할 수 있습니다.